潔凈車間竣工后，需要對(duì)潔凈車間進(jìn)行多種檢測(cè)和測(cè)試項(xiàng)目，目的是檢查和了解清潔車間的各項(xiàng)指標(biāo)是否合格。

1.壓力衰減：使?jié)崈糗囬g達(dá)到一定壓力(正壓或負(fù)壓)，然后關(guān)閉供壓或負(fù)壓系統(tǒng)，仔細(xì)觀察壓力隨時(shí)間慢慢減少，然后記錄壓力減少到開(kāi)始?jí)毫Φ亩种粫r(shí)間，即測(cè)量潔凈車間(室)正壓或負(fù)壓的半衰期。

2.恒壓法：在潔凈車間內(nèi)達(dá)到某個(gè)正壓的同時(shí)，在潔凈車間內(nèi)補(bǔ)充氣體，使室壓達(dá)到要求的穩(wěn)定值而不減低時(shí)的補(bǔ)充氣體量是泄漏量。在潔凈車間內(nèi)達(dá)到某個(gè)負(fù)壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值，不減低時(shí)的抽氣量是泄漏量。

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