潔凈度等級(jí):通常采用ISO潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),可根據(jù)實(shí)際需要分為ISO 5到ISO 9級(jí)以上。在實(shí)際應(yīng)用中,行業(yè)內(nèi)習(xí)慣將100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)的潔凈室稱為超凈實(shí)驗(yàn)室。 空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):要求室內(nèi)空氣中氧氣、二氧化碳、氮?dú)獾葰怏w的含量必須維持在人體可以接受的范圍內(nèi)。 溫度和濕度標(biāo)準(zhǔn):一般要求室內(nèi)溫度在18℃到25℃之間,相對(duì)濕度在45%~55%之間。 壓力差標(biāo)準(zhǔn):超凈室在使用時(shí)一般要求產(chǎn)生微小的負(fù)壓,防止室外空氣流入。產(chǎn)生的負(fù)壓一般為10Pa~20Pa。
超凈室,也被稱為無塵室或清凈室,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。